薄膜物理与技术
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内容简介
书名:薄膜物理与技术
作者:沈杰,梅永丰[等]编著
ISBN:978-7-122-44676-3
出版社:化学工业出版社
出版日期:2024.05
本书是高等学校教材。本书书主要阐述了薄膜物理与薄膜技术的基础理论知识,重点讲述了薄膜生长基础,薄膜生长技术(包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀与离子束沉积、化学气相沉积、原子层沉积、溶液沉积以及纳米薄膜组装等),并对薄膜的基本性质与检测方法及与光、电等领域的重点薄膜材料及应用进行了介绍。
作者:沈杰,梅永丰[等]编著
ISBN:978-7-122-44676-3
出版社:化学工业出版社
出版日期:2024.05
本书是高等学校教材。本书书主要阐述了薄膜物理与薄膜技术的基础理论知识,重点讲述了薄膜生长基础,薄膜生长技术(包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀与离子束沉积、化学气相沉积、原子层沉积、溶液沉积以及纳米薄膜组装等),并对薄膜的基本性质与检测方法及与光、电等领域的重点薄膜材料及应用进行了介绍。
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