微纳制造科学与技术——从基本原理到工程应用

书名：微纳制造科学与技术——从基本原理到工程应用
作者：陈蓉，单斌，曹坤，刘潇编著
ISBN：978-7-5680-9301-9
出版社：华中科技大学出版社
出版日期：2024.01
本书共分为七章，第一章简要介绍了微纳制造科学与技术，包括了微纳制造的定义、重要发展阶段、主要研究方法、内涵与外延、挑战及其新兴发展趋势等；第二章介绍了微纳尺度的物理化学原理，包括了量子效应、表面能/势、跨尺度传热传质原理、多场（力、热、声、光、电、磁）耦合方法等；第三章介绍了丰富多彩的微纳材料和结构，按加工尺度特点及材料形态细分为了碳材料、零维颗粒、一维纳米线/棒/管、二维薄膜和三维复合结构等；第四章着重介绍了多种多样的微纳尺度加工方法，尤其是各种自上而上（例如光刻、电子束刻蚀、超精密机械加工等）、自下而上（例如自组装、选择性沉积等）以及跨尺度复合加工方法等；第五章讲述了各种微纳尺度的表征技术，从材料组分、显微结构到电学、光学、磁学、力学性能等多方面展开分析，特别是各种显微学和波谱学的方法；第六章概述了微纳制造的工程应用，涵盖了微电子、物联网、航空航天、光电显示、交通运输、医疗健康等诸多领域。本书力图通过深入浅出的阐述，旨在为微纳制造领域的高年级本科生、研究生以及研究学者等提供参考与借鉴。