原子层沉积技术——从制造原理到装备应用

书名：原子层沉积技术——从制造原理到装备应用
作者：陈蓉，单斌，曹坤，刘潇著
ISBN：978-7-5772-1800-7
出版社：华中科技大学出版社
出版日期：2025.05
本书围绕原子层沉积技术，针对原子层沉积工艺、纳米结构可控制造方法、智能制造装备研发、应用等方面进行阐述，全书共分为9章。其中第1章阐述了原子层沉积技术的基本原理与工艺，第2-3章分别介绍了平面型原子层沉积、粉末原子层沉积的方法与装备；第4章对选择性原子层沉积工艺方法进行了详细介绍；第5-9章讨论了原子沉积技术在光致发光、电致发光、柔性封装、热催化、能源材料等领域的应用，是前述章节理论方法的验证与拓展。本书本书可作为半导体、泛半导体、能源催化等领域中从事材料、工艺和装备方面工作的研究人员和工程技术人员的参考用书，也可作为高等院校先进电子制造、能源环境相关专业的规划教材和教辅用书。