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薄膜材料科学与技术
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内容简介
书名：薄膜材料科学与技术
作者：刘仲武主编
ISBN：978-7-122-45614-4
出版社：化学工业出版社
出版日期：2024.10
本书是高等学校教材。本教材系统阐述了薄膜材料和薄膜技术的基本原理及基本知识，重点介绍了薄膜材料基本概念、真空技术和等离子技术、薄膜的液相法、化学和物理气相沉积技术、喷涂技术、薄膜的生长机制、薄膜的加工技术、薄膜的分析与表征技术，并结合发展前沿的硬质薄膜和功能薄膜等具体薄膜材料分析了薄膜材料科学与技术基本原理。
作者：刘仲武主编
ISBN：978-7-122-45614-4
出版社：化学工业出版社
出版日期：2024.10
本书是高等学校教材。本教材系统阐述了薄膜材料和薄膜技术的基本原理及基本知识，重点介绍了薄膜材料基本概念、真空技术和等离子技术、薄膜的液相法、化学和物理气相沉积技术、喷涂技术、薄膜的生长机制、薄膜的加工技术、薄膜的分析与表征技术，并结合发展前沿的硬质薄膜和功能薄膜等具体薄膜材料分析了薄膜材料科学与技术基本原理。