磁控溅射镁合金表面改性技术及应用

书名：磁控溅射镁合金表面改性技术及应用
作者：张德秋，李慕勤著
ISBN：978-7-122-39454-5
出版社：化学工业出版社
出版日期：2021.07
由于镁合金具有良好的生物相容性和可降解性，因而医用镁合金在心血管支架、骨植入材料等方面应用广泛。其中，可控降解是医用镁合金的关键问题，腐蚀过快难以满足临床的需要。为了缓解其腐蚀过程，医用镁合金表面腐蚀与改性技术成为当前生物医用镁合金的研究热点。磁控溅射表面氮化钛等镀膜技术可以极大地提升医用镁合金材料的防腐蚀性能和生物相容性。本书在介绍磁控溅射表面改性技术和镁合金材料基本特性的基础上，重点对镁合金表面各类型磁控溅射成膜技术进行了全面解读。书中详细说明了直流磁控溅射镁合金表面镀Ti-TiN膜、高功率磁控溅射镀Ti（Si）-TiN-Ti（Si）N膜、直流磁控溅射制备Ta膜、高功率脉冲磁控溅射制备Ta膜的成膜机理、制备工艺流程、性能影响因素，可供从事医用镁合金研发的技术人员参考。