扫描电镜/能谱原理及特殊分析技术

书名：扫描电镜/能谱原理及特殊分析技术
作者：任小明编著
ISBN：978-7-122-36234-6
出版社：化学工业出版社
出版日期：2020.06
本教材详细阐述了扫描电镜、X射线能谱仪和特殊分析技术应用三部分内容。扫描电镜部分包含电镜最新发展趋势、电子束与样品相互作用、像差等基础知识、最新仪器结构及工作原理、图像质量及影响因素、制样技巧等；X射线能谱仪部分包含能谱分析基本概念等基础知识、仪器结构及工作原理、能谱分析特点及方法、定性定量分析、误差成因及分析等；特殊分析技术应用部分包含低电压分析技术、能谱空间分辨率提高技术、低真空成像技术、高景深及立体成像技术、荷电问题及解决技术、颗粒物检测技术6个特殊分析技术。