真空镀膜技术与应用

书名：真空镀膜技术与应用
作者：陆峰编著
ISBN：978-7-122-40245-5
出版社：化学工业出版社
出版日期：2022.03
本书系统、全面地阐述了真空镀膜技术的基本理论知识体系以及各种真空镀膜方法、设备及工艺，对最新的薄膜类型、性能检测及评价、真空镀膜技术及装备等进行了详细的介绍，如金刚石薄膜的应用及大面积制备技术、工艺、性能评价等。本书叙述深入浅出，内容丰富而精炼，工程实践性强，在强化理论的同时，重点突出了工程应用，具有很强的实用性，通俗易懂、简单易学。本书适合从事真空镀膜技术、薄膜与表面工程、材料工程等领域相关研究、设计、设备操作及维护工作的技术人员阅读，也可以作为与真空镀膜技术有关的研究人员和真空专业的本科生、研究生教材及参考书使用。