图说集成电路制造工艺

书名：图说集成电路制造工艺
作者：孙洪文编著
ISBN：978-7-122-43290-2
出版社：化学工业出版社
出版日期：2023.08
本书通过彩色图解的形式，结合轻松有趣的解读方式，详细介绍了集成电路芯片制造工艺的相关知识，内容包括：基础知识、行业现状、半导体材料与设备、集成电路工艺概述、氧化、沉积、外延、扩散、离子注入、硅片清洗、刻蚀、抛光、高温工艺、退火、深紫外光刻、极紫外光刻、下一代光刻技术以及未来的集成电路工艺等。本书内容丰富，讲解通俗易懂，非常适合集成电路行业的从业人员、对芯片知识感兴趣的读者学习使用。对于高等院校、职业院校微电子、集成电路相关专业的师生，本书也是一本很好的教材及参考读物。