图解芯片制造技术

书名：图解芯片制造技术
作者：吴元庆，刘春梅，王洋编著
ISBN：978-7-122-43803-4
出版社：化学工业出版社
出版日期：2023.11
芯片是近年来备受关注的高科技产品，在电子、航空航天、机械、船舶、仪表等领域发挥着不可替代的作用。本书定位为高端科普书籍，注重先进性和前瞻性，介绍了芯片制造的方方面面，涉及晶圆的拉制、切割、分割、刻蚀、整理、表面处理、光刻设备以及其他刻蚀设备，着重介绍了了芯片制造的核心技术——物理气相沉积、化学气相沉积、光刻和远紫外线刻蚀技术、化学刻蚀技术，并对集成电路和设计和制造做了简要介绍。《图解芯片制造技术》一书适宜对芯片感兴趣的科技爱好者参考阅读。