原子层沉积制造技术及生物传感应用

书名：原子层沉积制造技术及生物传感应用
作者：刘磊著
ISBN：978-7-122-45124-8
出版社：化学工业出版社
出版日期：2024.03
本书主要是基于原子层沉积技术手段探究其在摩擦、电磁和生物传感器等方面的应用研究，介绍了ALD技术的基本原理、特点、系统和工作模式，然后聚焦于ALD技术的拓展，包括对多金属源共馈ALD等新兴技术的探究，详细介绍了ALD技术在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器等方面的应用研究，重点探究了该技术在生物医学检测领域的最新研究进展和巨大应用前景，在阐明ALD技术基本原理的同时，展现了其在前沿领域的先进性和实际应用。本书适合微纳制造和生物医学检测等相关领域的科技工作者参考使用，也可作为高校机械工程、材料科学与工程及化学工程与技术、生物工程和物理等专业师生的参考书。