纳米半导体器件与技术
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内容简介
书名:纳米半导体器件与技术
作者:(加)Krzysztof Iniewski编
ISBN:978-7-118-09078-9
出版社:国防工业出版社
出版日期:2013.12
本书介绍了半导体工艺从标准CMOS硅工艺到新型器件结构的演变,包括碳纳米管、石墨烯、量子点等,涉及纳米电子器件的研究现状,提供了关于材料和器件结构的资源,包括从微电子到纳电子的革命。
作者:(加)Krzysztof Iniewski编
ISBN:978-7-118-09078-9
出版社:国防工业出版社
出版日期:2013.12
本书介绍了半导体工艺从标准CMOS硅工艺到新型器件结构的演变,包括碳纳米管、石墨烯、量子点等,涉及纳米电子器件的研究现状,提供了关于材料和器件结构的资源,包括从微电子到纳电子的革命。
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