气相沉积薄膜强韧化技术

书名：气相沉积薄膜强韧化技术
作者：杜军，朱晓莹，底月兰编著
ISBN：978-7-118-11522-2
出版社：国防工业出版社
出版日期：2018.05
本书重点介绍了作者课题组近几年来在国家自然科学基金、国防预研基金、重点实验室基金等一系列基础研究项目的支持下，在物理气相沉积硬质薄膜强韧化方法、理论、表征及强韧化薄膜应用领域的研究成果。主要论述了如何制备和表征具有强、韧性能的薄膜，包括薄膜的制备方法，薄膜强化技术，薄膜韧化技术，薄膜的强韧性能表征，薄膜内应力，强韧化薄膜实例。