薄膜材料科学
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内容简介
书名:薄膜材料科学
作者:(美)Milton Ohring著
ISBN:978-7-118-08144-2
出版社:国防工业出版社
出版日期:2013.02
本书详细介绍了薄膜材料科学的各个方面,内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛,资料全面,是一本薄膜材料科学领域的权威之作。
作者:(美)Milton Ohring著
ISBN:978-7-118-08144-2
出版社:国防工业出版社
出版日期:2013.02
本书详细介绍了薄膜材料科学的各个方面,内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛,资料全面,是一本薄膜材料科学领域的权威之作。
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