微机电系统(MEMS)设计和原型设计指南
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内容简介
书名:微机电系统(MEMS)设计和原型设计指南
作者:(美)Joel A. Kubby著
ISBN:978-7-118-09690-3
出版社:国防工业出版社
出版日期:2014.11
在本书中描述和分析了大量的设计案例,涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试;此外,在本书每章的最后,都描述了MEMS设计的实践和挑战,并提供了相关的解决方案。
作者:(美)Joel A. Kubby著
ISBN:978-7-118-09690-3
出版社:国防工业出版社
出版日期:2014.11
在本书中描述和分析了大量的设计案例,涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试;此外,在本书每章的最后,都描述了MEMS设计的实践和挑战,并提供了相关的解决方案。
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