惯性MEMS器件原理与实践

书名：惯性MEMS器件原理与实践
作者：(德)沃克尔·肯普(Volker Kempe)著
ISBN：978-7-118-10887-3
出版社：国防工业出版社
出版日期：2016.05
该书共分9个章节。其中6个章节（包括引言）用于讲述MEMS相关技术的理论基础。第一章讲述了惯性MEMS中最重要的传感器-加速度计和陀螺仪的相关背景知识；第二章讲述了诸如弹性力和阻尼力等非惯性力的理论知识，这些在设计惯性MEMS传感器时非常重要；第三、四章描述了主要MEMS工艺的制作技术；第五章讲述MEMS封装技术；第六章讲述MEMS接口电路技术。前六章内容不仅适合惯性MEMS行业的技术人员，而且对其他想对MEMS有总体了解的人员也有很大的吸引力。第七、八章为核心内容，讲述惯性MEMS传感器-加速度计和陀螺仪。这里重点讲述基本理论、动态特性分析及数学模型建立的方法，并系统讲述了惯性MEMS传感器的不同设计方法和结构方案，以及各自的优缺点。最后，对测试和校准用独立的章节进行了简要介绍。