微米纳米器件设计

书名：微米纳米器件设计
作者：黄庆安，周再发，宋竞著
ISBN：978-7-118-09784-9
出版社：国防工业出版社
出版日期：2014.12
本书是MEMS设计的专著，主要介绍MEMS器件、系统和工艺的模型、模拟以及设计方法。在器件级设计中，介绍微传感器和微执行器的工作原理，偏微分方程和耦合偏微分方程的有限元网格划分、算法及后处理方法；在系统级设计中介绍MEMS系统级建模方法，例如接点分析法等效电路法、VHDL等；在MEMS工艺模型中，介绍主要加工方法如硅各向异性腐蚀、DRIE、UV-LIGA等工艺模型及相关算法（元胞自动机、线算法等）。最后介绍MEMS设计软件结构、模块以及使用方法和算例。