MEMS集成设计技术及应用

价　　格：¥25.80

作　　者：苑伟政，谢建兵，焦文龙著

ISBN：978-7-118-09583-8

出版社：国防工业出版社

出版日期：2014.11

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内容简介

书名：MEMS集成设计技术及应用
作者：苑伟政，谢建兵，焦文龙著
ISBN：978-7-118-09583-8
出版社：国防工业出版社
出版日期：2014.11
全书共分六章，第一章简述微米纳米器件测试技术的发展、意义和研究现状，第二章介绍微米纳米结构的特征几何参量测量技术，第三章介绍微米纳米结构的动态特性测试技术，第四章介绍微米纳米力学量测试技术，第五章介绍MEMS在线测试技术，第六章介绍几种典型的微米纳米器件测试技术。

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