扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术

书名：扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术
作者：施明哲编著
ISBN：978-7-121-27245-5
出版社：电子工业出版社
出版日期：2015.11
本书是介绍扫描电镜和X射线能谱仪的原理和应用的专业书籍，全书共有两篇。第一篇主要介绍了扫描电镜的基本原理，包括扫描电镜的国内外发展历程、电镜的基本原理和结构、实际应用中常见的一些成像技术和具体应用、样品的处理、电镜日常的维护及保养，还介绍了电镜安装场地和环境的基本要求及相关参数。第二篇主要介绍能谱仪的基本原理、结构和实际的应用技术，包括Si（Li）与SDD两种不同的检测器。最后还简单地介绍了传统的罗兰圆和新型的平行光波谱仪的工作原理及其各自的特点。