SOI光波导器件
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内容简介
书名:SOI光波导器件
作者:陈媛媛著
ISBN:978-7-121-11760-2
出版社:电子工业出版社
出版日期:2010.08
绝缘衬底上的薄膜硅材料(Silicon-on-insulator,SOI)是一种新型的Si材料,近年来在半导体光电子学领域的应用日益广泛。SOI光波导器件的研究成为目前硅光子学研究的一个热点问题。本书系统的介绍SOI材料的导波光学器件,特别是无源器件,光开关及其开关阵列的理论原理,以及器件制作方面的最新研究成果。
作者:陈媛媛著
ISBN:978-7-121-11760-2
出版社:电子工业出版社
出版日期:2010.08
绝缘衬底上的薄膜硅材料(Silicon-on-insulator,SOI)是一种新型的Si材料,近年来在半导体光电子学领域的应用日益广泛。SOI光波导器件的研究成为目前硅光子学研究的一个热点问题。本书系统的介绍SOI材料的导波光学器件,特别是无源器件,光开关及其开关阵列的理论原理,以及器件制作方面的最新研究成果。
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