微机电系统与设计

价　　格：¥25.80

作　　者：娄利飞编著

ISBN：978-7-121-10808-2

出版社：电子工业出版社

出版日期：2010.05

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内容简介

书名：微机电系统与设计
作者：娄利飞编著
ISBN：978-7-121-10808-2
出版社：电子工业出版社
出版日期：2010.05
全书共8章，第1章初识微机电系统。第2章阐述了用于传感或执行元件工作的基本机理，并介绍了一些典型的微传感器和微执行器。第3章讨论了用于微机电系统的多种材料。第4章描述了怎样制造微机电系统和器件。第5章详细介绍了微机电系统的设计仿真、分级建模和MEMSCAD技术。第6章讲述了微机电系统设计和封装中相关的工程力学问题和尺度效应。第7章和第8章主要介绍微机电系统的封装和检测技术等。

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