![[!--oldtitle--] PDF电子书下载](/d/file/efpub/2026/09-12/f2ptkit3nxo.jpg)
氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例
温馨提示：电子书为虚拟商品，一经发货概不退换，请谨慎购买。3小时内发货(节假日除外)，发货时效不超过24小时，急单慎拍！
内容简介
书名：氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例
作者：赵祥敏，赵文海著
ISBN：978-7-5024-6917-7
出版社：冶金工业出版社
出版日期：2015.06
本书以实例的形式，介绍了用磁控溅射法制备氧化锌(ZnO)薄膜、氮化铝(AlN)薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章，主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用，ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段，ZnO薄膜、AlN薄膜、ZnO/AlN复合膜的制备方法与性能表征，不同溅射时间下AlN缓冲层对ZnO薄膜的影响，退火温度对N掺杂ZnO薄膜的影响等内容。
作者：赵祥敏，赵文海著
ISBN：978-7-5024-6917-7
出版社：冶金工业出版社
出版日期：2015.06
本书以实例的形式，介绍了用磁控溅射法制备氧化锌(ZnO)薄膜、氮化铝(AlN)薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章，主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用，ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段，ZnO薄膜、AlN薄膜、ZnO/AlN复合膜的制备方法与性能表征，不同溅射时间下AlN缓冲层对ZnO薄膜的影响，退火温度对N掺杂ZnO薄膜的影响等内容。
上一本：
金属矿床地下开采关键技术