纳米尺度几何量和机械量测量技术
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内容简介
书名:纳米尺度几何量和机械量测量技术
作者:赵学增,王伟杰著
ISBN:978-7-5603-3864-4
出版社:哈尔滨工业大学出版社
出版日期:2012.06
本书共分4章。包括纳米尺度线宽(CD)测量,纳米尺度边缘粗糙度(LER)测量,纳米尺度线高测量,纳米尺度节距、一维栅和二维栅测量,纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量,微纳尺度固液界面边界条件测量,结论。本书可供相关专业的研究人员参考。
作者:赵学增,王伟杰著
ISBN:978-7-5603-3864-4
出版社:哈尔滨工业大学出版社
出版日期:2012.06
本书共分4章。包括纳米尺度线宽(CD)测量,纳米尺度边缘粗糙度(LER)测量,纳米尺度线高测量,纳米尺度节距、一维栅和二维栅测量,纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量,微纳尺度固液界面边界条件测量,结论。本书可供相关专业的研究人员参考。
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