基于原子力显微镜的纳米机械加工与检测技术

书名：基于原子力显微镜的纳米机械加工与检测技术
作者：董申，孙涛，闫永达著
ISBN：978-7-5603-3861-3
出版社：哈尔滨工业大学出版社
出版日期：2012.12
本书介绍作者及其团队多年来在使用原子力显微镜的基础上，研究利用其探针作为加工工具，构建了一套三维微结构的纳米机械加工系统，以及用这套加工系统开展纳米加工实验与基础理论研究的成果，同时吸收了国内外在这方面的最新研究成果。主要内容包括绪论、纳米加工技术相关理论基础、原子力显微技术的基本原理及工作模式、采用原子力显微镜探针的纳米机械加工技术、加工工具的操作与调控、加工过程的建模与仿真、基于原子力显微镜探针的纳米加工技术的应用、未来展望等。