微电子机械加工系统（MEMS）技术基础

价　　格：¥25.80

作　　者：孙以材，庞冬青编著

ISBN：978-7-5024-4794-6

出版社：冶金工业出版社

出版日期：2009.03

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内容简介

书名：微电子机械加工系统（MEMS）技术基础
作者：孙以材，庞冬青编著
ISBN：978-7-5024-4794-6
出版社：冶金工业出版社
出版日期：2009.03
本书介绍微电子机械加工(MEMS)技术基础，详细介绍了电学、热血和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法等。

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