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半导体锗材料与器件
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内容简介
书名：半导体锗材料与器件
作者：(比)C. 克莱，(比)E. 西蒙著
ISBN：978-7-5024-5175-2
出版社：冶金工业出版社
出版日期：2010.04
本书全面系统介绍了有关锗晶体生长、长入缺陷和工艺导致缺陷、不同材料、工艺相关问题直至最现代的ULSI器件等所有方面。第一章至第七章更多考虑引导性叙述，包括基础材料、缺陷和器件等内容。第八章到第十二章则偏重应用和工艺技术。最后在第十三章进行总结并展现了锗作为微电子材料的前景。
作者：(比)C. 克莱，(比)E. 西蒙著
ISBN：978-7-5024-5175-2
出版社：冶金工业出版社
出版日期：2010.04
本书全面系统介绍了有关锗晶体生长、长入缺陷和工艺导致缺陷、不同材料、工艺相关问题直至最现代的ULSI器件等所有方面。第一章至第七章更多考虑引导性叙述，包括基础材料、缺陷和器件等内容。第八章到第十二章则偏重应用和工艺技术。最后在第十三章进行总结并展现了锗作为微电子材料的前景。