集成电路（IC）制程简论

价　　格：¥25.80

作　　者：田民波编著

ISBN：978-7-302-20959-1

出版社：清华大学出版社

出版日期：2009.12

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内容简介

书名：集成电路（IC）制程简论
作者：田民波编著
ISBN：978-7-302-20959-1
出版社：清华大学出版社
出版日期：2009.12
本书以图文并茂的形式，简要介绍了集成电路制程。以特征线宽130nm以下为重点，涉及到集成电路制造工艺的各个方面，特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低K介质材料、Soc与Sip等。

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