纳米集成电路制造工艺
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内容简介
书名:纳米集成电路制造工艺
作者:张汝京等编著
ISBN:978-7-302-36027-8
出版社:清华大学出版社
出版日期:2014.07
本书介绍纳米集成电路的制造工艺,共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面,很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员,有一定的参考价值。
作者:张汝京等编著
ISBN:978-7-302-36027-8
出版社:清华大学出版社
出版日期:2014.07
本书介绍纳米集成电路的制造工艺,共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面,很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员,有一定的参考价值。
