硅集成电路工艺基础

价　　格：¥25.80

作　　者：关旭东编著

ISBN：7-301-06507-8

出版社：北京大学出版社

出版日期：2003.09

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内容简介

书名：硅集成电路工艺基础
作者：关旭东编著
ISBN：7-301-06507-8
出版社：北京大学出版社
出版日期：2003.09
本书系统地讲述了硅集成电路制造的基础工艺。全书共十章，分别讲述了硅的晶体结构、硅集成电路制造中的单项工艺等内容。

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